Es handelt sich um ein Thin Film Deposition System ATS 500 der Firma HHV. Mit ihr können dünne Metallschichten wie Gold, Titan, Silber, Kupfer durch Kathodenzerstäubung, dem Sputtern, aufgebracht werden.
Die neue Beschichtungsanlage wird für die Herstellung von Quantenchips für auf Ionenfallen basierten Quantencomputern eingesetzt. Sie wird vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) im Verbundprojekt MIQRO („Skalierbarer Quantencomputer mit Hochfrequenz‐gesteuerten gespeicherten Ionen“) gefördert und beschafft. Sie kommt durch die Arbeitsgruppen von Prof. Dr. Christian Ospelkaus, Prof. Dr. Tanja Mehlstäubler (beide Institut für Quantenoptik & Physikalisch-Technische Bundesanstalt) und Prof. Dr. Boris Chichkov (Institut für Quantenoptik). Die Gerätebeschreibung und Ansprechperson der Anlage sind auf der LNQE-Website bei der Technologie im LNQE-Forschungsbau aufgeführt.
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