Ort: Hörsaal im LfI (Schneiderberg 32, Hannover, Deutschland)
Zeit: Mittwoch, den 11.05.05 um 17:30 - 18:30 + anschließendes Beisammensein
Ziel des Vortrages ist, die Möglichkeiten und Grenzen der Chemie aufzuzeigen, mit innovativen Nanomaterialien zum Gelingen des LNQE beizutragen. Ausgehend vom internationalen Stand bei der chemischen Erzeugung, Deposition und Strukturierung von Nanoteilchen und Schichten wird konkret vorgestellt, welche Beiträge die Hannoveraner Chemie für die Arbeitsbereiche Nanoelektronik, Mechanik/Magnetik sowie Quanten-, Bio- und Nanoengineering des LNQE zu leisten im Stande ist.
Die ständige Reduzierung der Strukturmaße mikroelektronischer Bauelemente führte zu immer feinskaligeren Strukturen. Einer weiteren Verkleinerung der unveränderten Baugruppenkonzepte auf der Basis der bislang für ihre Fertigung genutzten Materialien sind jedoch physikalisch Grenzen gesetzt. Bei der Annäherung an prinzipielle Grenzen, die unter 100 nm liegen dürften, könnte für die Nanoelektronik durchaus ein radikaler Technologiewandel erforderlich sein. Es werden daher verstärkt man-made Materialien mit maßgeschneiderten Eigenschaften gesucht. Dieses Material-Engineering auf molekularem Niveau umfasst kombinierte chemische und physikalische Arbeitstechniken der Materialsynthese und Deposition.
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Synthese von Nanostrukturen mit maßgeschneiderten elektronischen Eigenschaften
Die Verkleinerung der Strukturen und die Erhöhung der Arbeitsgeschwindigkeiten auf dem Chip erfordern neue Materialien für die Leiterbahnen, neue Isolierstoffe mit hohen bzw. niedrigen Dielektrizitätskonstanten, neue Si-adäquate Materialkombinationen.
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Nanomaterialien mit neue physikalischen Funktionen
Nano-Halbleiter- und -Metallpartikel lassen sich definiert herstellen und stabilisieren. Die neuen Funktionalitäten werden quantenelektronische Effekte mit neuen Materialien nutzen. Materialien für integrationsfähige Basisstrukturen im niedrigen nm-Bereich mit 0D- und 1D-Ladungsträger-Confinement wie Single-Electron-Transistoren, Quantendraht-Transistor, Nano-Leitungen, Nano-Röhren, bistabile molekulare Schalter sind gefragt.
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Strukturierung von Nanomaterialien
Si-kompatible nanometrisch strukturierbare Materialien für neue Basisstrukturen mit neuen elektronischen Funktionen wie Nanocluster, FET-Konfigurationen werden benötigt. In Kombination mit den klassischen physikalischen Techniken werden neue Wege des Depositionierens und der Nanostrukturierung geschaffen. Bei Strukturbreiten unter 100nm gelangt die optische Lithographie an ihr Ende, gefragt sind Verfahren der Post-optischen Lithographie, die auch noch zur Herstellung von Strukturen am Quantenlimit taugen.
