Ort: Hörsaal im LfI (Schneiderberg 32, Hannover, Deutschland)
Zeit: Mittwoch, den 30.11.05 um 17:30 - 18:30 + anschließendes Beisammensein
Auch in den Mikro- und Nanowelten sind Messungen das Rückrat von Forschung, Entwicklung und Produktion. Mögen in der Forschung noch vergleichende Messungen ausreichend sein, so sind in der Entwicklung quantitative Messungen erforderlich und in den Qualitätssicherungssystemen der Produktion sind rückführbare Messungen unabdingbar. Auch hier gilt, dass nur produziert werden kann, was auch gemessen werden kann.
Anders als in der makroskopischen Messtechnik, in der die Messaufgaben üblicherweise jeweils durch eine Reihe unterschiedlicher, spezialisierter Messtechniken gelöst werden - so z.B. durch Oberflächen- und dimensionelle Messmethoden - ist diese Aufteilung in der Mikrotechnologie und in noch viel stärkerem Maße in der Nanotechnologie nicht mehr möglich. Das stellt besondere Anforderungen an die Messtechnik.
Der Vortrag geht von der Darstellung typischer Messaufgaben in den Mikro- und Nanotechnologien aus und beleuchtet die Eigenschaften verfügbarer Messtechniken unter dem Blickwinkel ihrer Verwendbarkeit in diesen Technologien. Dabei steht die Messung von geometrischen Größen im Vordergrund. Er behandelt auch die wichtigen Aspekte der Vergleichbarkeit der Messergebnisse von unterschiedlichen Messmethoden und der Rückführbarkeit auf die Längeneinheit.
