Mit dem neuen Mask Aligner werden Quantenchips für die auf Ionenfallen basierten Quantencomputer hergestellt. Hierfür ist insbesondere das mit dem neuen Mask Aligner mögliche Backside Alignment essentiell, um die Quantenchips zu der Vorder- und nun auch der Rückseite ausgerichtet herstellen zu können.
Der Mask Aligner wird vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) im Verbundprojekt MIQRO („Skalierbarer Quantencomputer mit Hochfrequenz‐gesteuerten gespeicherten Ionen“) gefördert und beschafft. Er kommt durch die Arbeitsgruppe von Prof. Dr. Christian Ospelkaus (Institut für Quantenoptik der Leibniz Universität Hannover & Physikalisch-Technische Bundesanstalt).
Der neue Mask Aligner ist ein MA6 Gen4 von Firma Süss MicroTec. Er steht im Fotolithografiebereich für Gold-Prozesse. Die Gerätebeschreibung ist auf der LNQE-Website bei der Technologie im LNQE-Forschungsbau aufgeführt.
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