Neues Großgerät TEM

Neues TEM im LNQE

Transmissionselektronenmikroskop erweitert die diagnostischen Möglichkeiten im LNQE

Die technologischen Möglichkeiten im Forschungsbau des Laboratoriums für Nano- und Quantenengineering ist um ein weiteres, wichtiges Großgerät erweitert worden: Ein Transmissionselektronenmikroskop, kurz TEM.

In einem TEM werden Elektronen mit hoher Spannung beschleunigt und durch sehr dünne Proben hindurch gestrahlt, so dass die Abbildung direkte Information über das innere der Probe enthält. Es werden Auflösungen im Nanometerbereich erzielt. In kristallinen Proben ist es möglich, die Anordnungen einzelner Atome abzubilden.

Das neue TEM im LNQE hat eine Beschleunigungsspannung von 200 kV und als Elektronenemitter eine Feldeffektkathode. Wichtigste Paramater sind:       

  • Gerätetyp:  TEM Tecnai G2 F20 TMP von Fa. FEI
  • 200 kV Feldeffekt FEG
  • Ölfreies Vakuum
  • TEM point resolution: 0,27 nm
  • Information limit: 0,14 nm (gemessen!)
  • STEM resolution: 0,24 nm
  • 1 Hellfeld- und 2 Dunkelfeld-Detektoren +1  HAADF-Detektor
  • Tomografie +- 70°(evtl. bis zu +- 80°)

Mit diesem TEM sind alle klassischen Kontrastverfahren möglich: Hellfeld und Dunkelfeld, Beugungskontrast (einschließlich Weak-beam), parallele Beleuchtung bei alle Vergrößerungen (wichtig insbesondere bei der Untersuchung kristalliner Proben),  TEM und STEM (scanning TEM). Dabei sind große Kippwinkel möglich. Eine Besonderheit des neuen TEM ist die Möglichkeit der Tomografie.