Electron Beam Lithography: Basics, challenging applications and Raith solutions

10/05/2010

Dr. Guido Boesker von der Fa. Raith 06.10.2010

Eingeladen von: PD Dr. Christoph Tegenkamp (Institut für Festkoerperphysik, Abteilung Atomare und Molekulare Strukturen)

Zeit: Mittwoch 6.10.2010 um 10:30Uhr
Ort: im Seminarraum des LNQE (Schneiderberg 39, 30167 Hannover, Raum 001)
Dauer ~30-45min.

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